Hochdynamische kapazitive Chips
Für die gesamte Bandbreite relativer Luftfeuchtigkeitsmessung
In seiner firmeneigenen Reinraumproduktion stellt das Unternehmen MELA Sensortechnik GmbH kapazitive Dünnfilmchips her. Auf eine keramische Platte werden mehrere Schichten aus einer Elektrodenstruktur, einem von MELA® entwickelten hygroskopischen Polymer und einer dünnen wasserdampfdurchlässigen Goldschicht aufgetragen.
Das von MELA® entwickelte Polymer absorbiert und desorbiert Wasserdampf in der Atmosphäre, wodurch sich dessen elektrische Leitfähigkeit die Permittivität ändert, was wiederum eine Änderung der elektrischen Kapazität des MELA®-Chips bewirkt. Diese Kapazität ist ein direktes Maß für relative Feuchte.
- Deckelektrode aus porösem Gold
- Hygroskopisches Polymer
- Basiselektroden
- Keramisches Substrat
Vorteile
- für den gesamten Einsatzbereich der relativen Luftfeuchtigkeit
- hohe Dynamik – in kurzen Reaktionszeiten
- kleine Abmessungen
- hervorragende Linearität
- kleine Hysterese
Viele Typen – viele Anwendungen
Mit unterschiedlichen Schichtaufbau und verschiedenen Abmessungen werden mehrere Modelle von Feuchtesensorelementen hergestellt die sich vor allem in ihrer Widerstandsfähigkeit gegenüber äußeren Einflüssen und durch unterschiedliche Kapazitäten unterscheiden. Die Sensorelemente haben sehr gute dynamische Eigenschaften, sind langzeitstabil und wasserfest. Der Einsatz in diverse Anwendungsbereiche ist gegeben.
Um die Messgenauigkeit der kapazitiven Feuchtesensoren über einen längeren Zeitraum zu erhalten, kann die Kennlinie regelmäßig überprüft werden. MELA Sensortechnik bietet zur Nachkalibrierung der Sensoren am Einsatzort Feuchtenormale (Produktinfo. Nr.: F 5.2) an.